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MEMS智能傳感器等微納制造技術的發展趨勢與發展建議（前沿研究）

微納制造技術能夠實現微納米級別的高精密加工，是現代高科技制造領域的核心技術。提升微納制造技術水平，有助于提高中國高端制造業的整體競爭力，對推動科技創新和促進產業升級具有積極意義。文章概述了微納制造技術體系，著重分析了芯片微納制造、激光微納制造和聚…