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密析爾Pura系列微量水分變送器應(yīng)用于半導(dǎo)體制造等高端行業(yè)

來(lái)源:密析爾 ??2017-10-12 閱讀:647

密析爾Pura系列微量水分變送器的研發(fā)對(duì)于高純氣體的應(yīng)用是至關(guān)重要的,在高純氣體中即使微量的水分也被認(rèn)為是一種污染物。

基于密析爾在陶瓷阻抗水分傳感器測(cè)量領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn),Pura系列變送器能夠測(cè)量-120~-40°C的露點(diǎn)溫度或者1ppbv~126.71ppmv的水分含量。重點(diǎn)在于低濕測(cè)量的調(diào)教優(yōu)化了該產(chǎn)品在某些應(yīng)用中的表現(xiàn),例如半導(dǎo)體制造過(guò)程中,為了滿足質(zhì)量的要求生產(chǎn)環(huán)境需要幾乎完全沒(méi)有水分。

與其他密析爾露點(diǎn)儀一樣,Pura系列安裝簡(jiǎn)單、操作方便。可選的顯示單元造就了一個(gè)既高精度又高性?xún)r(jià)比的濕度計(jì)。對(duì)于Pura系列甚至密析爾儀表的其他傳感器的更換,其日常維護(hù)也是相當(dāng)簡(jiǎn)單的。同時(shí),有效地提供終身保修服務(wù),在保持過(guò)程運(yùn)行的同時(shí),傳感器的更換允許用戶確保其始終是精準(zhǔn)的。

除了半導(dǎo)體制造外,Pura系列也被廣泛應(yīng)用于光纖生產(chǎn),光學(xué)鍍膜工藝和工業(yè)氣體制造等領(lǐng)域。

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