智能裝備 智慧領(lǐng)域 上海微電子裝備獲得2020年度上海科技進(jìn)步二等獎
5月25日，2020年度上海市科學(xué)技術(shù)獎公布，上海微電子裝備“高性能雙脈沖激光退火設(shè)備研發(fā)與IGBT生產(chǎn)應(yīng)用”獲得2020年度上海市科技進(jìn)步二等獎。
2021-05-28 19:36:44 |
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5月25日，2020年度上海市科學(xué)技術(shù)獎公布，上海微電子裝備“高性能雙脈沖激光退火設(shè)備研發(fā)與IGBT生產(chǎn)應(yīng)用”獲得2020年度上海市科技進(jìn)步二等獎。
2021-05-28 19:36:44
7月15日，由國家知識產(chǎn)權(quán)局和世界知識產(chǎn)權(quán)組織共同評選的第二十一屆中國專利獎?wù)桨l(fā)布授獎決定，上海微電子公司發(fā)明專利“一種步進(jìn)光刻設(shè)備及光刻曝光方法（ZL201110241791.3）”榮獲第二十一屆中國專利優(yōu)秀獎，這也是上海微電子公司獲得的第九項(xiàng)中國專利優(yōu)秀獎。
2020-08-28 09:18:06
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